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项目介绍俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES）是用具有一定能量的电子束（或X射线）激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学成分和结构信息的方法。AES应用于鉴定样品表面的化学性质及组成的分析，其特点在俄歇电子来极表面甚至单个原子层，仅带出表面的化学信息，具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点。
样品要求
1. AES元素分析范围为Li~U，只能测试无机物质，不能测试有机物物质，目前仪器检出限为~3 atomic %；
2. 粉末样品提供10 mg，样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装；块状/薄膜：一般长宽厚不超出5*5*3 mm；
3. 由于AES测试深度太浅，无法对样品喷金后再测试，因此只能测试导电性较好的样品，绝缘样品无法测试；
4. 样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性，无磁性，无挥发性等；
5. 样品的保存和传送过程中应尽量避免样品表面被污染。在任何时候，对被分析样品的表面都应尽量少地接触和处理。
结果展示1. AES测试表面谱图
2. AES-Mapping
常见问题-
1.AES的优点是什么？
高空间分辨率。
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2.俄歇电子能谱的逸出深度为多少？
样品表面0.4-2nm。
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3.AES和XPS的区别？
XPS通过元素的结合能位移能更方便地对元素的价态进行分析，定量能力也更好，使用更为广泛。但由于其不易聚焦，照射面积大，得到的是毫米级直径范围内的平均值，其检测极限一般只有0.1%，因此要求原子化器表面的被测物比实际分析的量要大几个数量级。AES有很高的微区分析能力和较强的深度剖面分析能力。现在最小入射电子束径可达30nm。但是文献还没有报道原子化器表面的俄歇电子象。另外，对于同时出现两个以上价态的元素，或同时处于不同的化学环境中时，用电子能谱法进行价态分析是比较复杂的。
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4.俄歇电子能谱可以获得哪些信息？
表层成分和表面化学态。
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5.XPS中的俄歇谱与单独的AES有什么区别？
XPS使用X射线激发，采集的俄歇谱峰能量分辨率高一些，有的谱峰能用于化学态识别；AES用电子束激发，会破坏有些材料的化学键，主要适合元素分析。AES的优点是高空间分辨率，如果不是分析微米纳米级微区，就不需要使用AES。
