深度剖析可以用来表征特定元素沿着样品深度方向上浓度的变化，拓展XPS在材料分析中的应用，而往往在做深度剖析时，需要预先知道一些样品的信息，及样品的膜层结构，同时也要知道每一层所含有的元素和大概的膜层厚度，以便于深度分析时，设定分析条件。

样品要求

1、块状/薄膜样品：尺寸大于5*5*3mm小于直径60mm*8mm；标记好测试面
2、特殊液体样品（离子液体）可直接进样，大部分液体滴涂基体表面干燥后测试，同样尺寸大于5*5*3mm
3、易氧化的样品建议手套箱制样，也请抽真空后送样 XPS是高真空环境测试的，要求样品要充分干燥，易吸湿样品请提前说明
4、不能测试含硫、氟、氯、溴、碘单质等易挥发成分的样品
5、样品含有放射性元素请提前说明
6、块状/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样，接触空气容易受C、N、O、si等元素污染，测试结果可能会有误差
7、样品是用胶带固定到样品台上，回收的样品会有污染或损坏/损失，不建议回收样品！
8、测试说明：原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号！元素窄谱测试默认测最强峰轨道，H、He元素不可以测试，元素Li-Mg测试1s轨道,Al-Zn测试2p轨道,Ga-Dy测试3d轨道,Ho-Lu测试4d轨道,Hf-Cm测试4f轨道。如有特殊要求请备注
9、测试位置数量：默认是一个样品测试一个位置的，需要测试多个位置按照多个样品计费
10、我们默认给测试的原始数据，数据不矫正，（因不同的材料矫正方法不同），不平滑！！
11、如需特殊事项，请备注留言，如数据格式（默认PHIspe格式）,靶材默认测试使用Al靶