
高分辨XRD (HRXRD)

Bruker-D8 Discover,锐影-Xpert Pro MPD,理学-Smart Lab

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高分辨XRD(HRXRD)从倒易空间出发更易于进行外延结构的X射线衍射分析。一般外延膜与衬底晶格常数相近,所以,在倒易空间,外延膜的衍射斑点在衬底的衍射斑点左右。由于HRXRD具有入射束单色化程度高、发散度小、分辨率高等优点,是表征外延结构的理想手段。广泛用于单晶质量、外延薄膜的厚度、组分、晶胞参数、缺陷、失配、弛豫、应力等结构参数的测试
样品要求
厚度小于3mm ,长宽1x1mm2以上,不同尺寸价格不同,长宽4x4mm2以上不需要加价
测量面平整,厚度测量要求薄膜与衬底电子密度有明显差别且粗糙度尽量小

晶面的倒空间强度分布图(RSM)

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赵工 15757137609
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